両極性バイアス条件下での Ta2O5 の熱的および電気的破壊と信頼性

両極性バイアス条件下での Ta2O5 の熱的および電気的破壊と信頼性
作者: P. ヴァシナ | T. ゼドニチェク | Z.シータ | J.シクラ | J. パベルカ

要約：
当社の故障調査は主に、現象を説明する基本パラメータと、それが最終製品である「良好な」タンタル コンデンサの信頼性と品質に及ぼす影響を見つけることを目的としています。基本的に、破壊は多くの連続プロセスによって引き起こされます。ジュール加熱によるコンダクタンスの増加による熱破壊、なだれおよび電界放出破壊、電極間の引力による電気機械的崩壊、電気化学的劣化、樹枝状結晶の形成などです。絶縁破壊では、主に溶融と蒸発、場合によっては発火が続くことによって、絶縁体および電極全体に破壊が生じます。破壊の性質は VA 特性から特定できます。したがって、Ta が正極である通常モードと、Ta が負極である逆モードの両方で動作パラメータを調査しました。逆モードでは、ジュール加熱による電気コンダクタンスの増加によって熱破壊が開始されることを報告しました。その結果、温度 – 伝導率 – 電流 – ジュール熱 – 温度からなるフィードバック サイクルが続きます。通常モードでは、電気パルスによるチャネル内の電気コンダクタンスの増加によって電気的破壊が刺激され、蓄積された電荷がサンプルの破壊につながります。これらの内訳はどちらも確率的な挙動を示すため、事前に位置を特定することはほとんどできません。

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